北京北方华创微电子装备有限公司取得环形件等相关专利，减少晶圆背面受到氢气的刻蚀
金融界2025年3月17日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“环形件、晶圆承载基座、承载组件和工艺腔室”的专利，授权公告号CN222613540U，申请日期为2024年1月。
（图侵删）
专利摘要显示，本实用新型提供了环形件、晶圆承载基座、承载组件和工艺腔室，涉及半导体加工技术领域，以缓解现有晶圆背面容易被氢气刻蚀的问题。环形件用于与晶圆承载基座配合，环形件的底部用于与晶圆承载基座对应贴合的轴向延伸周面和径向延伸端面的总数量大于或等于四个。其可以减少晶圆背面受到氢气的刻蚀。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1014次，财产线索方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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